超高真空设备的放气分析
作者：admin | 日期：2025-08-19
超高真空设备的放气分析
文章介绍了超高真空设备放气的理论,并给出两种放气模型:Schram吸附模型和吸附-扩散模型;对设备的放气理论值进行了计算,并通过四极质谱仪得出的残余气体质谱图分析出材料放气的成分.
作 者： 汪力 闫荣鑫 孙立臣 刘恩均 Wang Li Yan Rongxin Sun Lichen Liu Enjun 作者单位： 北京卫星环境工程研究所,北京,100094 刊 名： 航天器环境工程 ISTIC 英文刊名： SPACECRAFT ENVIRONMENT ENGINEERING 年，卷(期)： 2009 26(2) 分类号： V416.8 关键词： 放气 超高真空 材料 outgassing ulwa-high vacuum material